T/CEMIA 036-2023 半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負膠顯影液

范圍本文件規(guī)定了半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負膠顯影液的縮略語、技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、標志及包裝、運輸、貯存和安全事項。
本文件適用于由氫氧化鉀、表面活性劑和水組成，其中氫氧化鉀的質(zhì)量百分比大于8％的半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負膠顯影液。此半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負膠顯影液主要用于半導(dǎo)體制程中負性光刻膠的顯影，及薄膜品體管液品顯示器(TFT-LCD)或有機發(fā)光二極管顯示器(OLED)彩膜工藝光刻膠的顯影。

術(shù)語和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。

縮略語
下列縮略語適用于本文件。
HDPE：High Density Polyethylene，高密度聚乙烯。

技術(shù)要求
外觀
透明澄清液體。
色度
半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負膠顯影液的色度不大于50Hazen單位(鉑-鈷色號)。
主要成分
半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負膠顯影液的主要化學(xué)成分含量應(yīng)符合表1的規(guī)定。


理化性能
半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負膠顯影液的理化性能，應(yīng)符合表2的要求。


檢驗方法
氫氧化鉀含量
按 GB/T 9725 的規(guī)定進行測試。
GB/T 9725-2007 化學(xué)試劑 電位滴定法通則

密度
按 GB/T 611-2021 的規(guī)定進行測試。
GB/T 611-2021 化學(xué)試劑 密度測定通用方法


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