GB/T 28159-2025 電子級(jí)磷酸

范圍
本文件規(guī)定了電子級(jí)磷酸的要求、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、安全等，并描述了相應(yīng)的試驗(yàn)方法。
本文件適用于半導(dǎo)體集成電路、芯片、顯示面板等行業(yè)用的電子級(jí)磷酸。

術(shù)語(yǔ)和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義。

要求
外觀
電子級(jí)磷酸應(yīng)為無(wú)色透明液體。
規(guī)格
電子級(jí)磷酸分為E1級(jí)、E2級(jí)、E3級(jí)共3個(gè)等級(jí)，其中E1級(jí)主要用于顯示面板行業(yè)、E2級(jí)主要用于8寸集成電路行業(yè)、E3級(jí)主要用于12寸集成電路行業(yè)。
技術(shù)要求
電子級(jí)磷酸的技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定。




試驗(yàn)方法
磷酸質(zhì)量分?jǐn)?shù)的測(cè)定
重量法(仲裁法)
按 GB 1886.15-2015 中A.4.1規(guī)定的方法進(jìn)行。

容量法
原理
以百里香酚酞為指示液，用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定磷酸，以確定磷酸含量。
試劑
氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液：c(NaOH)=0.5mol/L。
百里香酚酞指示液：1g/L。
分析步驟
稱取約1g試樣，精確至0.0002g。置于250mL錐形瓶中，加80mL水和5滴百里香酚酞指示液，用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定至溶液變?yōu)闇\藍(lán)色即為終點(diǎn)。
試驗(yàn)數(shù)據(jù)的處理
磷酸(H₃PO₄) 的質(zhì)量分?jǐn)?shù)ω₁按公式(1)計(jì)算：

式中：
ω₁——磷酸(H₃PO₄)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)，％；
c ——?dú)溲趸c標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的濃度，單位為摩爾每升(mol/L)；
V ——消耗的氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積，單位為毫升(mL)；
m ——試樣的質(zhì)量，單位為克(g)；
M ——磷酸的摩爾質(zhì)量的1/2，單位為克每摩爾(g/mol)，[M(1/2 H₃PO₄)=49.00]。
取平行測(cè)定結(jié)果的算術(shù)平均值為測(cè)定結(jié)果，兩次平行測(cè)定結(jié)果的絕對(duì)差值不大于0.2%。
其他說明
根據(jù)企業(yè)測(cè)量設(shè)備的配置情況，可使用自動(dòng)電位滴定儀替代手動(dòng)滴定進(jìn)行磷酸含量檢測(cè)。

密度儀法
原理
本方法運(yùn)用U形管振蕩法測(cè)量液體密度的原理，主要是使用帶有參比測(cè)量池的U形管測(cè)量系統(tǒng)，在經(jīng)過大氣壓和濕度修正后儀器內(nèi)置的空氣、水標(biāo)準(zhǔn)曲線，通過輸出高精度密度值找到其對(duì)應(yīng)的磷酸濃度并在密度儀中顯示。
儀器、試劑
密度儀法所用儀器如下。
a) 密度儀：內(nèi)置樣品溫度調(diào)節(jié)模塊。儀器應(yīng)滿足以下要求。
——密度準(zhǔn)確度：0.00001g/cm³。
——密度測(cè)量重復(fù)性：0.000005g/cm³。
——溫度測(cè)量準(zhǔn)確度：0.01°C。
——大氣壓測(cè)量分辨率：0.1hPa，精度±1.5%，濕度測(cè)量分辨率：1％。
——測(cè)量樣品粘度并自動(dòng)進(jìn)行密度結(jié)果的粘度補(bǔ)償。
——具有測(cè)量池氣泡自動(dòng)檢查功能。
b) 無(wú)水乙醇(作為儀器的清洗劑)。
c) 純水(作為儀器的清洗劑和儀器查核液)：符合 GB/T 11446.1 規(guī)定的EW-Ⅰ級(jí)電子級(jí)水。
分析步驟
儀器查核
儀器查核應(yīng)每天進(jìn)行一次， 查核步驟如下：將進(jìn)樣管放入查核液(純水)中，點(diǎn)擊開始按鈕，儀器自動(dòng)吸樣、測(cè)量(注意U形管內(nèi)不能有任何氣泡)，測(cè)量完成后顯示查核液的溫度、密度等信息。
將純水測(cè)量的密度結(jié)果與該溫度下查核液的標(biāo)準(zhǔn)值(見表2)比較，如果偏差在±0.00005g/cm³以內(nèi)，則檢查通過，可進(jìn)行樣品測(cè)試。

樣品測(cè)試
取待測(cè)樣品至少50mL于100mL燒杯中，將進(jìn)樣管放入待測(cè)樣品液面以下至少1cm處，點(diǎn)擊開始，儀器自動(dòng)吸樣、測(cè)量(注意U形管內(nèi)不能有任何氣泡)，測(cè)試完成后顯示待測(cè)試樣的溫度、密度、濃度等信息。測(cè)試完成后用純水進(jìn)行清洗，再用無(wú)水乙醇進(jìn)行清洗，清洗完成后進(jìn)行干燥。
樣品的濃度直接讀取儀器顯示值。


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